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等離子體源和離子源

各式等離子源包括，低能離子源、陽極層離子源、矩形氣體離子源、矩形射頻離子源等

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技術(shù)參數(shù)

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技術(shù)指標(biāo)不局限與所列參數(shù)，可根據(jù)用戶需求定制

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